Kugelgewindespindel-Linearführung

kompaktPräzisionHochpräzision

• Steifer und kompakter Aufbau • Optimierte Ablaufgenauigkeiten • Integriertes Kabelmanagement • Kundenspezifische Servotechnik Das speziell auf Kundenwünsche entwickelte Linearsystem vereint Präzision und Prozessstabilität. Für die Realisierung der anspruchsvollen Ablaufgenauigkeiten der optischen Prüfeinrichtungen wurde ein Hochpräzisions-Kugelgewindetrieb in Kombination mit hochsteifen Rollenumlaufführungen eingesetzt. Neben dem integrierten Kabelmanagement wurde eine kundenseitige Verschlauchung und Verrohrung implementiert. Dadurch konnte die gewünschte Vakuum-Durchführung sichergestellt werden. Für ein einfaches Plug & Play wurde alles für die kundenspezifische Servotechnik konfektioniert. Neben den üblichen Kundenanforderungen wie bewegte Masse, kürzeste Verfahrbereiche, Zyklusdefinitionen, uvm. mussten zusätzliche Eigenschaften berücksichtigt werden. Diese waren bspw.: • Große Wartungsintervalle • Kundenspezifische Burn-In Tests • Elektrische Ableitfähigkeit (ESD) • Vorbereitung einer Zentralschmierung • optische Prüfeinrichtungen • AOI-Handlings • Optische Wafertestanlagen • Kameraverstellungen • Laserbearbeitungen • Sensorpositionierungen