Wafer-Ätzmaschine Primaxx® Monarch 3

Das Primaxx® Monarch 3 VHF-Ätzsystem (VHF = Vapor Hydrogen Fluoride) ist für die selektive Ätzfreigabe mittels eines kontrollierten wasserfreien HF/Alkohol-Ätzprozesses konzipiert. Der Monarch 3 ist ein kompaktes Modul mit einer 3-Wafer-Prozesskammer einschließlich eines halbautomatischen 3-Wafer-Laders mit Ladeschleuse und ist für Forschungslabors und kleine Produktionsumgebungen konzipiert. Ein integrierter Panel-PC mit On-Board-Elektronik minimiert den Platzbedarf im Reinraum, und das System wurde für einen einfachen Wechsel der Wafergröße und eine einfache Wartung konzipiert. - Kompatibel mit 100mm-200mm Wafern - Chargengröße bis zu 3 Wafer - Eigenständiges System - Geringer Platzbedarf einschließlich Prozesskammer, Gas-/Flüssigkeitspanel und Druck-/Vakuumkomponenten