Optisches Profilometer Zeta™-388

3Dmit WeißlichtinterferometrieRauheit

Der berührungslose Profiler Zeta™-388 bietet 3D-Metrologie- und Bildgebungsfunktionen, kombiniert mit einem integrierten Isolationstisch und einem Kassette-zu-Kassette-Wafer-Handling-System für vollautomatische Messungen. Das System ist mit der ZDot™-Technologie ausgestattet, die gleichzeitig hochauflösende 3D-Daten und ein True-Color-Bild mit unendlichem Fokus erfasst. Das Zeta-388 unterstützt sowohl F&E- als auch Produktionsumgebungen mit Multi-Mode-Optik, benutzerfreundlicher Software, niedrigen Betriebskosten und SECS/GEM-Kommunikation. Der optische Profiler Zeta-388 ist ein berührungsloses 3D-Oberflächentopographie-Messsystem. Das Zeta-388 baut auf den Fähigkeiten des Zeta-300 auf und verfügt zusätzlich über einen Kassettenwechsler für vollautomatische Messungen. Das System basiert auf der patentierten ZDot-Technologie und Multi-Mode-Optik und ermöglicht die Messung einer Vielzahl von Proben: transparente und undurchsichtige, schwach bis stark reflektierende, glatte bis raue Texturen und Stufenhöhen von Nanometern bis Millimetern. Das automatisierte optische Messsystem Zeta-388 integriert sechs verschiedene optische Messtechnologien in einem konfigurierbaren und benutzerfreundlichen System. Der ZDot-Messmodus erfasst gleichzeitig einen hochauflösenden 3D-Scan und ein True-Color-Bild mit unendlichem Fokus. Weitere 3D-Messverfahren sind Weißlicht-Interferometrie, Nomarski-Interferenzkontrastmikroskopie und Scherinterferometrie. Die Schichtdicke kann mit ZDot oder einem integrierten Breitbandreflektometer gemessen werden. Das Zeta-388 ist auch ein High-End-Mikroskop, das für die Überprüfung von Proben oder die automatische Fehlerprüfung verwendet werden kann.