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Optisches Profilometer Zeta™-20
3Dmit Weißlichtinterferometriefür Halbleiter

optisches Profilometer
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Eigenschaften

Technologie
optisch, 3D, mit Weißlichtinterferometrie
Verwendung
für Halbleiter
Konfigurierung
Tischgerät
Weitere Eigenschaften
kontaktlos

Beschreibung

Das benchtop Zeta-20 optische Auswerteprogramm ist, Topographie-Maßsystem der Oberfläche 3D ein berührungsfreies. Das System wird durch patentierte ZDot™-Technologie und Optik in mehreren Betriebsarten angetrieben und ermöglicht Maß einer Vielzahl der Proben: transparent und undurchsichtig, niedrig zum hohen Reflexionsvermögen, machen Sie zur rauen Beschaffenheit und zu den Schritthöhen von Nanometer zu Millimeter glatt. Das Zeta-20 integriert sechs verschiedene optische Metrologietechnologien in einem konfigurierbaren und bedienungsfreundlichen System. ZDot™-Maßmodus sammelt gleichzeitig einen hochauflösenden Scan 3D und ein wahre Farbunbegrenztes Fokusbild. Andere Techniken des Maßes 3D umfassen Kontrastmikroskopie der weißen hellen Interferometrie, Nomarski-Störung und scherende Interferometrie. Dicke kann mit ZDot oder einem integrierten Breitbandreflectometer gemessen werden. Das Zeta-20 ist auch ein Spitzenmikroskop, das für Beispielbericht oder automatisierte Defektinspektion benutzt werden kann. Das Zeta-20 stützt R&D und Produktionsumwelt, indem es umfassende Schritthöhe, Rauheit und Dickenmaße zur Verfügung stellt, und setzt sich Inspektionsfähigkeit ab. Anwendungen Schritthöhe: Höhe des Schrittes 3D von Nanometer zu Millimeter Beschaffenheit: Rauheit 3D und Welligkeit auf glattem zu den sehr rauen Oberflächen Form: Bogen 3D und Form Druck: 2D Dünnfilmdruck Dicke: Stärke der transparenten Folie von 30nm bis 100µm Defektinspektion: Gefangennahmendefekte größer als 1µm Defektbericht: KLARF-Dateien werden benutzt, um zu den Defekten zu steuern, um Standorte der Oberfläche zu messen Topographie- oder Schreiberdefekt3d

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.