3D-Profilometer HRP®-260

mit StylusEbenheitRauheit

Der HRP®-260 ist ein hochauflösender, von Kassette zu Kassette arbeitender Taststift-Profiler. Das HRP bietet produktionsbewährte Leistung mit automatisierter Waferhandhabung für die Halbleiter-, Verbindungshalbleiter-, Hochleistungs-LED-, Datenspeicher- und verwandte Industrien. Die P-260-Konfiguration unterstützt 2D- und 3D-Messungen von Schritthöhen, Rauheit, Bogen und Spannung für Scans bis zu 200 mm ohne Nähte. Die HRP®-260-Konfiguration bietet die gleiche Funktionalität wie die P-260 sowie eine hochauflösende Stufe zur Messung kleiner Merkmale bei höherer Auflösung und schnellerem Durchsatz. Das HRP®-260 bietet eine zweistufige Funktion zur Messung der Nano- und Mikro-Oberflächen-Topographie. Die P-260-Konfiguration bietet die Möglichkeit des langen Scans (bis zu 200 mm) ohne Stitching, und der HRP®-260 bietet einen hochauflösenden Scanningtisch für Scanlängen bis zu 90 µm. Das P-260 erreicht eine hervorragende Messstabilität durch eine Kombination aus UltraLite®-Sensor, konstanter Kraftregelung und ultraflachem Scanningtisch. Der HRP®-260 erweitert die Leistungsfähigkeit mit einem hochauflösenden piezoelektrischen Scanningtisch. Die Rezeptur-Einrichtung ist schnell und einfach mit Point-and-Click-Tischsteuerungen, Optiken mit niedriger und hoher Vergrößerung und hochauflösenden Digitalkameras. Der HRP®-260 unterstützt 2D- und 3D-Messungen mit einer Vielzahl von Filter-, Nivellierungs- und Datenanalyseverfahren zur Quantifizierung der Oberflächentopographie. Vollautomatische Messungen werden durch automatisiertes Wafer-Handling, Mustererkennung, Sequenzierung und Merkmalserkennung erreicht.