Das Tencor P-7 Tisch-Tastereinsatz-Profiliergerät baut auf dem Erfolg des marktführenden Tencor P-17 Tisch-Tastereinsatz-Profiliersystems auf. Es beinhaltet die überragende Messleistung der P-17 Technologie in einer Plattform, die ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis für ein Tisch-Tasterprofilmessgerät bietet. Das Tencor P-7 Tastschnittgerät unterstützt 2D- und 3D-Messungen von Stufenhöhen, Rauheit, Krümmung und Spannung für Scans bis zu 150 mm ohne Naht.
- Stufenhöhe: Nanometer bis 1000µm
- Geringe Kraft mit konstanter Kraftkontrolle: 0,03 bis 50mg
- Scannen des gesamten Durchmessers der Probe ohne Stitching
- Video: hochauflösende 5MP-Farbkamera
- Bogen-Korrektur: Beseitigt Fehler aufgrund der Bogenbewegung des Tastereinsatzes
- Software: Einfach zu bedienende Software-Schnittstelle
- Produktionsfähigkeit: Vollständig automatisiert mit Sequenzierung, Mustererkennung und SECS/GEM
Anwendungen
- Stufenhöhe: 2D- und 3D-Stufenhöhe
- Textur: 2D- und 3D-Rauheit und -Welligkeit
- Form: 2D- und 3D-Bogen und Form
- Spannung: 2D- und 3D-Dünnschichtspannung
- Defekt-Übersicht: 2D- und 3D-Defektoberflächentopographie
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