Optisches Inspektionssystem FlashScan®automatischzur Fehlererkennungfür die Elektronikindustrie
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Eigenschaften
- Technologie
- optisch
- Merkmal
- automatisch
- Typ
- zur Fehlererkennung
- Anwendung
- für die Elektronikindustrie
Beschreibung
Systeme zur Inspektion von Retikel-Rohlingen
Das FlashScan® 211 System zur Inspektion von Maskenrohlingen unterstützt Maskenshops und Hersteller von Rohlingen bei der Erfüllung der Anforderungen an Maskenrohlinge für optische und EUV-Lithografieanwendungen. Das FlashScan 211-System verbindet seine hohe Empfindlichkeit mit einer unvergleichlichen Prüfgeschwindigkeit und einer automatischen Fehlerdisposition, wodurch die Zeit bis zum Erreichen von Ergebnissen für eine Vielzahl von Anwendungen verkürzt wird.
Anwendungen
Herstellung von Maskenrohlingen, Qualifizierung von Maskenrohlingen, Kontrolle des Reticle-Prozesses, Überwachung der Reticle-Prozessausrüstung
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.