Optische Inspektionsmaschine Candela® 8420

OberflächenFehlerautomatisiert

Das Candela 8420 ist ein System zur Prüfung von Oberflächendefekten, das die Mehrkanaldetektion und das regelbasierte Defekt-Binning nutzt, um Partikel und Kratzer auf undurchsichtigen, durchscheinenden und transparenten Wafern wie Galliumarsenid (GaAs), Indiumphosphid (InP), Lithiumtantalat, Lithiumniobat, Glas, Saphir und anderen Verbindungshalbleitermaterialien zu erkennen. Das 8420-Oberflächeninspektionssystem nutzt die proprietäre OSA-Architektur (Optical Surface Analyzer) zur gleichzeitigen Messung von Streuintensität, topografischen Variationen, Oberflächenreflexion und Phasenverschiebung für die automatische Erkennung und Klassifizierung eines breiten Spektrums von Defekten von Interesse (DOI). Mit dem Candela 8420 Oberflächeninspektionssystem wird innerhalb von Minuten eine vollständige Oberflächenabdeckung erreicht, um hochauflösende Bilder und automatische Inspektionsberichte mit Defektklassifizierung und Waferkarten zu erstellen. Das Candela 8420 Wafer-Inspektionssystem ermöglicht die Oberflächenanalyse, einschließlich der Erkennung von Oberflächendefekten und Partikeln auf undurchsichtigen, durchscheinenden und transparenten Wafern, einschließlich Glas, einseitig poliertem (SSP) Saphir und doppelseitig poliertem (DSP) Saphir, Sliplines, Galliumarsenid (GaAs) und Indiumphosphid (InP) Pits und Bumps, die Kartierung von trübungsähnlichen Oberflächen und Defekte auf Lithiumtantalat (LiTaO2), Lithiumniobat (LiNbO3) und anderen modernen Materialien. Das Oberflächeninspektionssystem 8420 wird für die Prozesskontrolle von Verbindungshalbleitern (Waferreinigung, Vor- und Nachepitaxie) unter Verwendung von Defektinspektion eingesetzt. Sein fortschrittliches Mehrkanaldesign bietet eine höhere Empfindlichkeit als Einkanaltechnologien.