Optisches Messsystem Therma-Probe® 680XP

Implantat-Metrologie-Systeme Das Therma-Probe® 680XP Ionen-Implantat/Glüh-Metrologiesystem ermöglicht die Inline-Dosisüberwachung für die 2Xnm/1Xnm-Designknoten. Die Therma-Probe 680XP liefert wichtige Prozessinformationen über die Dosis und das Profil der Ionenimplantate, die Gleichmäßigkeit von Implantat und Glühung sowie Schäden am Ende des Bereichs. Darüber hinaus bieten die hochauflösenden Mikrouniformitätskarten des Therma-Probe 680XP-Systems die Möglichkeit, Fingerabdrücke für die Entwicklung von Implantat- und Glühprozessen zu erstellen. Anwendungen Prozessüberwachung, Werkzeugüberwachung