Optisches Profilometer Tencor™ P-17

3Dmit Styluszur Dünnschicht-Analyse

Das Tencor P-17 ist ein Tisch-Tasterprüfgerät der achten Generation, das auf über 40 Jahren Erfahrung in der Oberflächenmesstechnik aufbaut. Dieses branchenführende System unterstützt 2D- und 3D-Stufenhöhenmessung, Rauheit, Wölbung und Spannung für Scans bis zu 200 mm ohne Stitching. Durch die Kombination eines UltraLite®-Sensors, einer konstanten Kraftregelung und eines ultraflachen Scanningtisches wird eine hervorragende Messstabilität erreicht. Die Rezepteinrichtung ist dank der Point-and-Click-Tischsteuerung, der Optik für die Ansicht von oben und von der Seite und einer hochauflösenden Kamera mit optischem Zoom schnell und einfach. Das Tencor P-17 Tasterprofilometer unterstützt 2D- oder 3D-Messungen mit einer Vielzahl von Filter-, Nivellierungs- und Analysealgorithmen zur Quantifizierung der Oberflächentopografie. Vollautomatische Messungen werden durch Mustererkennung, Sequenzierung und Merkmalserkennung erreicht. - Stufenhöhe: Nanometer bis 1000µm - Geringe Kraft mit konstanter Kraftkontrolle: 0,03 bis 50 mg - Scannen des gesamten Durchmessers der Probe ohne Stitching - Video: hochauflösende 5MP-Farbkamera - Bogen-Korrektur: Beseitigt Fehler aufgrund der Bogenbewegung des Tastereinsatzes - Software: Einfach zu bedienende Software-Schnittstelle - Produktionsfähigkeit: Vollständig automatisiert mit Sequenzierung, Mustererkennung und SECS/GEM Anwendungen - Stufenhöhe: 2D- und 3D-Stufenhöhe - Textur: 2D- und 3D-Rauheit und -Welligkeit - Form: 2D- und 3D-Bogen und Form - Spannung: 2D- und 3D-Dünnschichtspannung - Defekt-Übersicht: 2D- und 3D-Defektoberflächentopographie