In-Situ-Temperaturmessung Automatisierungspaket
Das SensArray® Automationspaket bietet eine schnelle, automatisierte Erfassung der Temperaturmessungen in der Werkzeugkammer. Das Paket umfasst einen OHT-kompatiblen FOUP, eine Automationsstation, einen Systemautomationscontroller und Software-Sitzkomponenten für den Büro-PC. SensArray FOUPs können wie jedes Produktions-FOUP verarbeitet werden, wobei die Daten direkt in SPC-Charts übertragen werden. SensArray Automation bietet Produktivitätsverbesserungen, die sich aus der höheren Verfügbarkeit von Prozesswerkzeugen, der effizienteren Nutzung von Engineering-Ressourcen und der zentralen Datenspeicherung in der MES-Datenbank der Fabrik ergeben
Anwendungen
Prozessentwicklung, Prozessqualifizierung, Prozesswerkzeugüberwachung, Prozesswerkzeugqualifizierung, Kammerabgleich, Prozesswerkzeugabgleich
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