Dickenmesssystem Aleris® series

spektroskopischfür Folien

Film-Messtechnik-Systeme Die Aleris®-Filmmetrologiesysteme bieten eine zuverlässige und präzise Messung der Filmdicke, des Brechungsindex, der Spannung und der Zusammensetzung für den 32-nm-Knoten und darüber hinaus. Die Aleris-Filmmetrologie-Systeme, die die Breitband-Spektroskopie-Ellipsometrie (BBSE) verwenden, stellen eine umfassende Lösung für Schichtdickenmessungen und Messtechnik dar und helfen den Herstellern bei der Qualifizierung und Überwachung eines breiten Spektrums von Filmschichten. Aleris 8330 Das Schichtmesssystem Aleris 8330 ist eine kostengünstige Lösung für unkritische Schichten, einschliesslich intermetallischer Dielektrika, Fotolacke, untere Antireflexbeschichtungen, dicke Oxide und Nitride und Schichten am hinteren Ende der Linie. Aleris 8350 Das Aleris 8350 ist ein Hochleistungs-Filmmetrologiesystem, das die engeren Prozesstoleranzen erfüllt, die für Dicken-, Brechungsindex- und Spannungsmessungen an kritischen Filmen erforderlich sind. Das Schichtdickenmesssystem Aleris 8350 wird für die fortschrittliche Schichtdickenentwicklung, Charakterisierung und Prozesssteuerung für eine breite Palette kritischer Schichten eingesetzt, darunter ultradünne Diffusionsschichten, ultradünne Gate-Oxide, fortschrittliche Photoresists, 193 nm ARC-Schichten, ultradünne Mehrschichtstapel und CVD-Schichten. Aleris 8510 Das Aleris 8510 erweitert die Schichtdickenmessung, die Zusammensetzung und die Spannungsmessung der Aleris-Familie auf fortschrittliche HKMG- (High k Metal Gate) und ultradünne entkoppelte DPN-Prozessschichten (DPN = Decoupled Decoupled Plasma Nitridation). Das Aleris 8510-Schichtdickenmesssystem nutzt eine verbesserte 150-nm-Breitband-Spektroskopie-Ellipsometrie-Technologie und liefert Ingenieuren die für die Entwicklung und Inline-Überwachung von DPN-Schichten und allen HKMG-Schichten erforderlichen Schichtdickenmessdaten - vom Gate bis zum