Optische Inspektionsmaschine Puma™ series

für Gravur-Waferfür die ElektronikFehler

Laserscanning-Systeme zur Prüfung strukturierter Wafer auf Defekte Das Puma™ 9980 Laserscanning-Inspektionssystem enthält mehrere Verbesserungen in Bezug auf Empfindlichkeit und Geschwindigkeit, die die Erfassung kritischer Defekte (DOI) bei einem Durchsatz ermöglichen, der für die Großserienfertigung von 1Xnm Advanced Logic und Advanced DRAM sowie 3D NAND-Speicherbausteinen erforderlich ist. Als Teil eines Portfolios fortschrittlicher Wafer-Defektinspektions- und -Review-Tools bietet der Puma 9980 eine Lösung mit höchstem Durchsatz für die Produktionsüberwachung, indem er die Erfassung von Defekttypen auf fortschrittlichen Strukturierungsschichten verbessert. Der Puma 9980 verfügt über die NanoPoint™ Design-Aware-Funktion, die durch eine erhöhte Defektsensitivität, ein verbessertes systematisches Nuisance Binning und eine verbesserte Defektkoordinatengenauigkeit zu aussagekräftigeren Prüfergebnissen führt. Linienüberwachung, Werkzeugüberwachung, Werkzeugqualifizierung