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Knickarmroboter TTS series4-Achs5-AchsUmschlag
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Eigenschaften
- Typ
- Knickarm
- Achszahl
- 4-Achs, 5-Achs
- Funktion
- Umschlag
- Installation
- bodenstehend
- Einsatzbereich
- für Reinraum
- Weitere Eigenschaften
- Hochgeschwindigkeit, Hochpräzision
- Maximalbelastung
0,7 kg
(1,543 lb)- Aktionsradius
1.066 mm
(41,97 in)- Wiederholgenauigkeit
0,1 mm
(0,0039 in)
Beschreibung
Der Roboter der TTS-Serie kann 2 und 3 FOUPs von EFEM ohne Schiene erreichen. Dank des speziell entwickelten Antriebssystems bewegt sich der Roboter unglaublich leichtgängig und mit hoher Präzision. Darüber hinaus sorgt sein starrer Teleskopmechanismus für Hochgeschwindigkeits-Handling in hohen und niedrigen Positionen.
Die Serie entspricht sowohl dem SEMI-F47- als auch dem SEMI-S2-Standard.
Anwendungen
Handhabung von Silizium-Wafern
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Kataloge
Clean Robot NTS, TTS series
2 Seiten
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.