Heizelement für Diffusionsöfen Fibrothal®

Silikon

Fibrothal®-Diffusionskassetten sind eine "Plug and Heat"-Lösung für die Herstellung hochwertiger kristalliner Siliziumwafer für Solarzellen und Halbleiter. Die Diffusionskassetten sind in massearmer Ausführung mit vertikalen oder horizontalen Elementen für Betriebstemperaturen bis zu 1350°C (2460°F). Kundenspezifische Heizelemente für spezifische Anwendungen können auf Anfrage geliefert werden. Je nach den Anforderungen des Ofens kann Kanthal® mit seinem Angebot an Heizmaterialien auch anspruchsvolle Hochtemperaturprozesse abdecken. Vorteile: Je nach den Anforderungen des Ofens können beide Elementausrichtungen so ausgelegt werden, dass sie eine gleichbleibende Leistung über eine längere Lebensdauer erbringen und so die Zeit für Wartung und Austausch reduzieren. Mit Optionen für Energiesparelemente oder schnelle Kühlung helfen Ihnen Kanthal-Heizelemente, die Leistung zu maximieren. Anwendungen: Die vertikalen und horizontalen Heizelemente werden in vielen verschiedenen atmosphärischen und LPCVD-Thermoprozessen eingesetzt. Dazu gehören pyrogene Oxidation, Flüssigquellenabscheidung sowie Siliziumnitrierung und Polysiliziumprozesse.