Schwefelwasserstoff-Gassensor M103Y

MEMS

M103Y ist ein Mikro-Metalloxid-Halbleiter-Gassensor, der auf der MEMS-Mikro-Heißplattentechnologie basiert und zum Nachweis von Schwefelwasserstoff in der Luft verwendet wird. Bei der Herstellung des Sensors werden die MEMS-Siliziumsubstrattechnologie, die Dünnschichttechnologie, die Dickschichttechnologie und die Metallgehäuse-Technologie kombiniert. Befindet sich der Sensor in einer kontaminierten Gasumgebung, ändert sich die Leitfähigkeit des Sensors mit der in der Luft festgestellten Gaskonzentration. Je höher die Gaskonzentration ist, desto höher ist die Leitfähigkeit des Sensors. Mit einer einfachen Schaltung lässt sich die Leitfähigkeitsänderung in ein der Gaskonzentration entsprechendes Ausgangssignal umwandeln. Art des zu messenden Gases: Schwefelwasserstoff Merkmale: ➢ Automatische Kalibrierung ➢ Schnelle Reaktion (~15Sek.) ➢ Eingebaute Temperaturkompensation ➢ Digitaler Signalausgang, einfache Anwendung ➢ Lange Lebensdauer (~ 5 Jahre) ➢ Langfristige Stabilität ➢ Die Empfindlichkeit des Moduls kann je nach Bedarf eingestellt werden