Methan-Gassensor S1008Y

MEMS

Der CH4-Sensor ist ein Miniatur-Metalloxid-Halbleiter-Gassensor auf der Grundlage der MEMS-Mikro-Heizplattentechnologie zur Erfassung eines breiten Spektrums von CH4-Gas in Luft. Die Sensorherstellung erfolgt in Kombination mit der MEMS-Silizium-Substrattechnologie, der Dickschichttechnologie und der Keramikgehäusetechnologie. Die gasempfindliche Schicht wird auf der Oberseite der Heizplatte und der ineinandergreifenden Elektroden aufgebracht, was zu einer von der Konzentration der Schadgase abhängigen Leitfähigkeit führt. Merkmale: >Hohe Empfindlichkeit für CH4 ( 5CM5000ppm ) >Schnelles Ansprechverhalten (~10Sek.) >Geringe Leistungsaufnahme (~60mW) >Kleine Abmessungen (3,8mm x 3,8mm x 1,5mm) >Lange Lebensdauer (-10 Jahre) >Reflow-Löten Anwendungen: >Alarm für Erdgasleckagen >Portabler Detektor >loT. tragbare geräte. smart home Bemerkungen: 1,Rq wurde unter Standardumgebungsbedingungen getestet, d.h. in sauberer Luft mit einer Temperatur von 25 ± 3 *C und einer Luftfeuchtigkeit von 50 ± 10 %. 2,Slk ist definiert als Rq/Rq, Rq ist der Sensorwiderstand in der Luft mit 1000 ppm CH4-Konzentration. 25 ± 3 °C, 50 ± 10%. 3, Die Ansprech- und Erholungszeit ist definiert als das Zeitintervall zwischen dem Kontakt mit der angegebenen Gaskonzentration und dem Erreichen von 70 % der stabilen Widerstandsänderung. 4,Rh wird unter der Bedingung einer Heizleistung von 60mW gemessen und ändert sich bei Änderungen der Heizleistung. Diese Funktion kann verwendet werden, um Temperatur zu tun