Das JEOL "NEOARM" / JEM-ARM200F zeichnet sich durch eine kalte Feldemissionsquelle (Cold FEG) und einen Cs-Korrektor (ASCOR), der Aberrationen höherer Ordnungen kompensiert, aus. Diese Kombination aus Cold FEG und ASCOR ermöglicht gleichermaßen atomare Auflösung bei hohen Spannungen bis 200kV und bei niedrigen Spannungen bis 30 kV.
Durch das JEOL Cosmos System kann eine schnelle und präzise Optimierung des Korrektors automatisch durchgeführt werden und ermöglicht somit einen hohen Probendurchsatz. Das eABF STEM-Detektionssystem des „NEOARM“ erzielt bei niedrigen Beschleunigungsspannungen durch einen deutlich verbesserten Kontrast sehr hohe Auflösungen bei der Abbildung leichter Elemente. Das äußere Design des „NEOARM“ wurde in den Farben Weiß und Silber gestaltet und für eine Remote-Bedienung optimiert.
Merkmale
1. Sphärische Aberration (Cs) ASCOR-Korrektror (Advanced STEM Corrector)
Der neue in das „NEOARM“ integrierte ASCOR-Korrektor kann problemlos den sechsfachen Astigmatismus kompensieren, der die Auflösung nach der herkömlichen Cs-Korrektur limitiert. Die Kombination von ASCOR und kalter Feldemissionsquelle ergibt eine geringe chromatische Aberration und erweitert das Beugungslimit. Dadurch wird eine höhere Auflösung als je zuvor erreicht.