Automatisches Probenvorbereitungssystem IB-10500HMS

für SEMfür LaboranwendungenIonenstrahlätzen

Eigenschaften Fräsen mit hohem Durchsatz ＊1 Hohe Fräsgeschwindigkeit des Querschnitts durch die neue Ionenquelle: 1,2 mm/h oder mehr＊2 (2,4-mal so hoch wie die bisherige Fräsrate.) Das Hochdurchsatz-Frässystem optimiert die Elektroden der Ionenquelle und ermöglicht höhere Beschleunigungsspannungen, wodurch die Stromdichte des Ionenstrahls verbessert wird. Unsere neu entwickelte Ionenquelle erreicht eine hohe Fräsgeschwindigkeit des Querschnitts von 1,2 mm/h oder mehr (das 2,4-fache der bisherigen Fräsgeschwindigkeit) Querschnittsfräsrate der neuen Ionenquelle Probe: Silizium-Wafer Beschleunigungsspannung: 10kV Fräszeit: 1h Querschnittsfräsen einer Legierung mit niedrigem Schmelzpunkt (Abkühlung) Beschleunigungsspannung: 10 kV Fräszeit: 30 min Das rechte REM-Bild zeigt eine Sn-Bi-Legierung mit einem Schmelzpunkt von 150°C. Ein Metall mit niedrigem Schmelzpunkt kann durch die Bearbeitungswärme geschmolzen werden; daher muss das Metall vor dem Fräsen abgekühlt werden. Die wärmeempfindliche Probe wird mit hohem Durchsatz gefräst, während die Probe gekühlt bleibt ＊3. So erhält man in kurzer Zeit eine Querschnittsprobe mit einer geringeren Hitzeschädigung. Großflächiges Fräsen ＊1,＊4 Planares Oberflächenfräsen einer größeren Fläche Das neue Hochdurchsatz-Frässystem ermöglicht die Einstrahlung eines Ionenstrahls auf eine größere Fläche der Probe. Das planare Oberflächenfräsen eignet sich zur Beseitigung von Kratzern auf der Probenoberfläche oder von kristallinen Verformungen, die durch mechanisches Polieren entstanden sind. Planares Fräsen der Oberfläche eines Betons Beschleunigungsspannung: 10 kV Fräszeit: 20 min Ein Beton mit einer Breite von 20 mm wurde großflächig plangefräst.