FIB/SEM-Mikroskop JIB-PS500i

Labor3Dhochauflösend

Das von Grund auf neu designte Präparationssystem JIB-PS500i mit fokussiertem Gallium-Ionenstrahl (FIB) ermöglicht in noch nie dagewesener Einfachheit die Herstellung, höchstauflösende Abbildung und Analyse dünner TEM-Lamellen und Querschnitte. Grundlage bildet eine große, leicht zugängliche Probenkammer, die den Einbau sehr großer Proben erlaubt und gleichermaßen das Kippen von Proben auf über 90° ermöglicht. So können TEM-Proben einfach präpariert und direkt im STEM-Betrieb abgebildet und analysiert werden. Zu diesem Zweck wurden sowohl die Objektivlinse als auch die Detektoren für höchste Auflösung weiterentwickelt. Darüber hinaus wurden die JEOL-EDX-Detektoren in die neue, von JEOL-Rasterelektronenmikroskopen bekannte Nutzeroberfläche integriert, um möglichst effiziente und einfache Arbeitsabläufe zu ermöglichen. Auch die neue STEMPLING2-Lamellenpräparation zielt auf hohen Durchsatz und einfaches Handling ab: Zusammen mit dem vollintegrierten OmniProbe-Werkzeug (Oxford Instruments) können so automatisch zahlreiche Lamellen in Serie produziert werden. Für schnelle Arbeitabläufe stehen zudem eine Gallium-Quelle mit hohem Probenstrom (bis 100nA) für maximale Abtragsraten und die bewährte In-Lens-Schottky-FEG (bis 500nA) für großflächige, schnelle Elementanalysen zur Verfügung.