Radiofrequenz Generator für atmosphärisches Plasma TP

Hochfrequenz

Erzeugt ein thermisches Plasma bei etwa 10000 Grad durch Hochfrequenzinduktion mittels eines physikalisch-chemischen Reaktionsprozesses, der die Synthese von Nanopartikeln und die Herstellung dicker Schichten (Filmbildung) ermöglicht Merkmale Grundsätze・Features Das Hochfrequenz-Thermoplasma arbeitet bei Atmosphärendruck oder in einer Niederdruckumgebung nahe dem Atmosphärendruck, wobei die Hochfrequenzleistung an einem bestimmten Ort konzentriert wird, um durch elektromagnetische Induktion aus verschiedenen Gasen spontan ein etwa 10.000 Grad heißes Plasma zu erzeugen. Dieses thermische Plasma ist ein Bereich der Bogenentladung. Durch das Einbringen von Materialien (Pulver, Gase, Flüssigkeiten) in das Plasma ist es möglich, Verdampfung, Schmelzen, Dissoziation und chemische Reaktionen für Anwendungen wie Nanopartikelsynthese, Pulversphärodisierung und -reaktion, Filmbildung und Dissoziation von schädlichen Gasen zu induzieren. Im Vergleich zur Gleichstrombogenentladung kann ein größeres Plasmavolumen erzielt werden Auch der Gasfluss ist besser als bei einem Gleichstromplasma. Da die Durchflussrate um eine Größenordnung langsamer ist, können die Materialien ausreichend erhitzt werden, um die gewünschten Reaktionen einzuleiten. Da keine Elektroden vorhanden sind, gibt es auch keine Verunreinigung durch Elektrodenmaterialien, was eine hochreine Verarbeitung ermöglicht. Es kann eine breite Palette von Gasen verwendet werden, einschließlich oxidativer, reduktiver und korrosiver Gase Es können feine Partikel mit einer Feinheit im Nanobereich erzeugt werden, was über die Möglichkeiten der mechanischen Pulverisierung hinausgeht Die Möglichkeit, die Reaktionen hochenergetischer chemischer Spezies wie Atome, Ionen, angeregte Moleküle und Radikale zu nutzen, eröffnet die Möglichkeit, neue Stoffe und Materialien zu schaffen.