Sensor für einen Quarzoszillator-Filmdickenregler mit 6 oder 12 Quarzen
Merkmale
Zur Messung der Filmdicke und der Filmerzeugungsrate während der Dünnfilmverarbeitung.
Wenn ein Kristall ausfällt, kann der Sensor durch Umschalten auf den nächsten Kristall weiter verwendet werden.
Da sich die Detektoröffnung an einer festen Position befindet, muss der Tooling-Faktor nicht bei jedem Kristallwechsel geändert werden.
Es gibt 2 Arten von Sensorköpfen: flach und 45°. Diese können je nach Einbaulage selektiv eingesetzt werden.
Geeignet für langfristige, hochvolumige Vakuumabscheidungs- oder Sputterprozesse.
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