Multipolige Pupillenbeleuchtungen benötigen Sie, um in Maskenprojektionssystemen die höchste Auflösung zu erhalten. Diffraktive optische Elemente (DOE) von Jenoptik erzeugen solche Verteilungen effektiv und mit hoher Genauigkeit und Uniformität innerhalb und zwischen den einzelnen Polen.
Für alle unsere diffraktiven Elemente verwenden wir hochqualitative Materialien. Das sorgt für besonders hohe Lebensdauer, sogar bei intensiver UV-Laserbestrahlung.