Die Präzisionsachse ist ein Granitbalken mit einer hochgenauen Präzisionsachse. Das Komplettsystem ist inklusive Servoregler für verschiedene Feldbusse (EtherCAT, Profinet, CAN,..). Diese Achse ist für hochpräzise Anwendungen wie z.B. Waferinspektion, Scanner, Vermessung geeignet.
- Granitbalken mit hochgenauer Präzisionsachse
- Komplettsystem inklusive Servoregler für verschiedene Feldbusse (EtherCAT, Profinet, CAN,..)
- Für hochpräzise Anwendungen wie z.B. Waferinspektion, Scanner, Vermessung)
Anforderungen
- Vollflächige Montage am Maschinengestell
- Inklusive Energiekette und konfektionierter Kabelsatz
- Lieferung als komplett montiertes und in Betrieb genommenes Achssystem
- Genauigkeiten garantiert bei ±2K konstanter Temperatur
Umsetzung
- Für kundenspezifische Anforderungen entwickelt
- Eisenloser Linearmotor mit Präzisionsschienenführung