Linearachse mit Linearmotor

Präzisionfür Reinraum

Beschreibung Linearmotorachse mit Moving-Magnet Prinzip (Spuleneinheit mit Messkopf ist fest montiert und die Magnetbahn bewegt den Schlitten mit Maßband) Positionierung von Optiken Anforderungen Einsatz im Reinraum Klasse 100 – kein Abrieb oder Verschleiß der Kabel Einsatz in 24/7 Dauerbetrieb Sehr hohe mechanische Genauigkeit Temperaturstabilität: 22°C ±2° Technische Daten Umsetzung Eine gemeinsame Kugelumlaufführung für alle Schlitten Material der Grundplatte nach Wärmeausdehnungskoeffizient der Führung gewählt Aufbau und Antriebe im System zueinander versetzt – zur Optimierung der Gesamtlänge Technische Daten Beschleunigung: max. 3.000 mm/s2 Geschwindigkeit: max. 400 mm/s Höhenfehler je Schlitten: ≤1 µm Seitlicher Ablauffehler je Schlitten: ≤1 µm Max. Höhenfehler der Schlitten zueinander: 100 µm Max. Rollfehler, Gierfehler, Nickfehler: ≤±100 Mikrograd Hub: 50 mm (mehr möglich) Reibstrom pro Schlitten: <0,2 A Messsystemauflösung: 0,05 µm (50 nm) Wiederholgenauigkeit in Bewegungsrichtung: <0,5 µm