Messsoftware CompleteEASE

Mappingautomatisiert

Die nächste Generation der Ellipsometrie-Software ist da: CompleteEASE®, unsere revolutionäre neue Software für Woollam-Ellipsometer. Sie ist einfacher zu bedienen als je zuvor und bietet die erstklassige Qualität, die Sie von Woollam Company gewohnt sind. CompleteEASE ist im Lieferumfang der Systeme M-2000, RC2, iSE, theta-SE und alpha-SE enthalten. CompleteEASE® ist ein umfassendes Softwarepaket, das alle Ihre Anforderungen an die Ellipsometrie erfüllt. Messen Sie bequem die Gleichförmigkeit Ihrer Proben mit automatischer Probenzuordnung. Erfassen Sie In-situ-Daten mit spektroskopischer Ellipsometrie in Ihrer Prozesskammer oder mit einem zusätzlichen Temperaturkontrolltisch oder einer Flüssigkeitszelle. Alle Ihre Anforderungen an die Datenerfassung sind in einem einfach zu bedienenden Softwarepaket zusammengefasst. Erstellen Sie Ihre eigenen Rezepte zur Datenerfassung, automatisieren Sie das Mapping und analysieren Sie Ihre Proben - alles in einem Schritt. Komfort und Einfachheit vereinen sich in der Bedienung auf Knopfdruck. CompleteEASE® enthält integrierte Modelle, die ein breites Spektrum an typischen Proben abdecken. Die integrierten Modelle beschreiben, wie die Daten zur Bestimmung der Dünnschichteigenschaften zu verarbeiten sind. CompleteEASE enthält außerdem über 400 Materialdateien und Dispersionsgleichungen für eine Vielzahl von Dünnschichten - von Dielektrika und organischen Stoffen bis hin zu Halbleitern und Metallen. Der CompleteEASE Thickness Pre-Fit findet mit Hilfe eines speziellen patentierten Algorithmus schnell und automatisch die beste Dicke für die Daten. Das Rätselraten entfällt, wenn die nominale Schichtdicke unbekannt ist. Die B-Spline-Schicht wurde in CompleteEASE als Alternative zu direkten Anpassungen oder Oszillatormodellen entwickelt.