WVASE® ist das leistungsfähigste und umfassendste ellipsometrische Analyseprogramm auf dem Markt. Es bietet mehr Modellierungsoptionen als jedes andere Programm. WVASE ist außerdem SCHNELL. Es verwendet modernste mathematische Anpassungsalgorithmen für die schnellste und genaueste Anpassung an Ihre Daten. Neben der Modellierung und Analyse ellipsometrischer Daten analysiert und/oder simuliert WVASE auch Reflexions- und Transmissionsdaten (auch Neutronenreflexionsdaten für die Analyse sehr dünner Schichten wie z. B. organischer Stoffe). WVASE ist in den Systemen VASE, IR-VASE und VUV-VASE enthalten.
Erstellen Sie Ihre eigenen Oszillatoren, beginnend mit einer Reihe von eingebauten Funktionen, einschließlich:
- Lorentz
- Gauß
- Harmonisch
- Drude
- Tauc-Lorentz
- Cody-Lorentz
- Tanguy
- PSEMI
Metamaterialien bestehen aus künstlich hergestellten Anordnungen kleiner Strukturen, die in der Regel kleiner als die Messwellenlänge sind. Diese Strukturen sind so beschaffen, dass sie mit einfallenden elektromagnetischen Wellen in einer Weise interagieren, die bei natürlichen Materialien im Allgemeinen nicht beobachtet wird. Bis zu vier relative konstitutive Funktionen (ε, μ, γ und ζ ) können erforderlich sein, um die Strukturen von Metamaterialien vollständig zu modellieren. Außerdem können sie anisotrop sein, so dass für jede Funktion 3X3 Tensoren erforderlich sind, wie unten gezeigt:
Diese Gleichungen sind in der Meta-6-Schicht verankert, wie unten gezeigt, mit verschiedenen Gen-Osc-Schichten, die die verschiedenen anisotropen dielektrischen Tensoren beschreiben. Metamaterialien sind in der Regel anisotrop und oft depolarisierend, was bedeutet, dass sie in der Regel entweder verallgemeinerte Ellipsometriemessungen (g-SE) oder sogar Mueller-Matrix-Ellipsometrie (MM-SE) erfordern.
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