Spektroskopischer Ellipsometer VUV-VASE series

Das spektroskopische Ellipsometer VUV-VASE® mit variablem Winkel ist der Goldstandard für die optische Charakterisierung von Lithografie-Dünnschichten. Es misst Wellenlängen vom Vakuum-Ultraviolett (VUV) bis zum nahen Infrarot (NIR). Dies bietet eine unglaubliche Vielseitigkeit für die Charakterisierung zahlreicher Materialien: Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle, Mehrfachschichten und Flüssigkeiten wie Immersionsflüssigkeiten. Breiter Spektralbereich Das VUV-VASE deckt Wellenlängen von unter 140nm bis 1700nm ab. Hohe Genauigkeit Mit unserem patentierten AutoRetarder® garantiert das VUV-VASE Genauigkeit bei jeder Probenmessung. Bequeme Probenbeladung Das spezielle Design ermöglicht ein schnelles, effizientes Laden der Proben ohne kontaminierende Systemspülung. Schützen Sie Ihre Proben Der Monochromator wird vor der Probe platziert, um die Exposition von lichtempfindlichen Materialien zu begrenzen.