Spektroskopischer Ellipsometer IR-VASE

Das IR-VASE® ist das erste und einzige spektroskopische Ellipsometer, das die chemische Empfindlichkeit der FTIR-Spektroskopie mit der Dünnschicht-Empfindlichkeit der spektroskopischen Ellipsometrie kombiniert. Das IR-VASE deckt den breiten Spektralbereich von 1,7 bis 30 Mikrometer (333 bis 5900 Wellenzahlen) ab. Es wird zur Charakterisierung sowohl von dünnen Schichten als auch von Massenmaterialien in Forschung und Industrie eingesetzt. Diese schnell wachsende Technologie wird in den Bereichen optische Beschichtungen, Halbleiter, biologische und chemische Industrie sowie in Forschungslabors eingesetzt. Breiter Spektralbereich Deckt nahes bis fernes Infrarot ab. 1.7 bis 30 Mikrometer (333 bis 5900 Wellenzahlen) Auflösung von 1cm-1 bis 64cm-1 Hohe Empfindlichkeit für ultradünne Schichten Spektroskopische Ellipsometriedaten enthalten sowohl "Phasen"- als auch "Amplituden"-Informationen aus reflektiertem oder durchgelassenem Licht. Die Phaseninformation der IR-Ellipsometrie bietet eine höhere Empfindlichkeit für ultradünne Schichten als die FTIR-Reflexion/Absorption, wobei die Empfindlichkeit für die chemische Zusammensetzung erhalten bleibt. Zerstörungsfreie Charakterisierung Das IR-VASE bietet berührungslose, zerstörungsfreie Messungen vieler verschiedener Materialeigenschaften. Die Messungen erfordern kein Vakuum und können zur Untersuchung von Flüssigkeits-/Festkörper-Grenzflächen eingesetzt werden, die in der Biologie und Chemie häufig vorkommen. Keine Basislinie oder Referenzprobe erforderlich Bei der Ellipsometrie handelt es sich um eine selbstreferenzierende Technik, die zur Aufrechterhaltung der Genauigkeit keine Referenzproben erfordert. Es können Proben gemessen werden, die kleiner als der Strahldurchmesser sind, da nicht der gesamte Strahl erfasst werden muss. Hochpräzise Messung Patentierte Kalibrierungs- und Datenerfassungsverfahren ermöglichen genaue Messungen von Ψ und Δ über den gesamten Messbereich des Geräts.