Spektroskopischer Ellipsometer VASE series

Das VASE® ist ein genaues und vielseitiges Ellipsometer für die Forschung an allen Arten von Materialien: Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle, Mehrfachschichten und mehr. Es verbindet hohe Genauigkeit und Präzision mit einem breiten Spektralbereich - bis zu 193 bis 3200 nm. Die variable Wellenlänge und der variable Einfallswinkel ermöglichen flexible Messmöglichkeiten, einschließlich: - Reflexions- und Transmissions-Ellipsometrie - Generalisierte Ellipsometrie (Anisotropie, Retardanz, Doppelbrechung) - Reflexions- (R) und Transmissionsintensität (T) - Kreuzpolarisierte R/T - Depolarisation - Streumessung - Mueller-Matrix Maximale Datengenauigkeit Das VASE verfügt über ein rotierendes Analysator-Ellipsometer (RAE) in Kombination mit unserem patentierten AutoRetarder® für eine unvergleichliche Datengenauigkeit. Hochpräzise Wellenlängenauswahl Der Scanning-Monochromator wurde speziell für die spektroskopische Ellipsometrie entwickelt. Er optimiert Geschwindigkeit, Wellenlängengenauigkeit und Lichtdurchsatz, während er die Auswahl der Wellenlängen und die spektrale Auflösung automatisch steuert. Flexible Messungen Das VASE verfügt über eine vertikale Probenhalterung, die eine Vielzahl von Messgeometrien ermöglicht, einschließlich Reflexion, Transmission und Streuung. AutoRetarder®-Technologie Rotating Analyzer Ellipsometer (RAE) maximieren die Datengenauigkeit in der Nähe der "Brewster"-Bedingung - wo Ψ/Δ-Daten inhaltsreich sind. Dieser Bereich kann jedoch für Proben mit reduziertem Signal einschränkend sein. Der patentierte AutoRetarder ist eine computergesteuerte Wellenplatte, die die Polarisation des Lichtstrahls ändert, bevor er die Probe erreicht. Dies führt zu optimalen Messbedingungen für jede Probe - unter allen Bedingungen. AutoRetarder misst genau: - Ψ und Δ über den gesamten Bereich!