Spektroskopischer Ellipsometer iSE

Das iSE ist ein neues spektroskopisches In-situ-Ellipsometer, das für die Echtzeitüberwachung von Dünnschichtprozessen entwickelt wurde. Mit unserer bewährten Technologie ermöglicht das iSE die Optimierung der optischen Eigenschaften von abgeschiedenen Schichten, die Kontrolle des Schichtwachstums mit einer Empfindlichkeit im Sub-Angström-Bereich und die Überwachung der Wachstumskinetik. Leistungsstark Dank der Leistungsfähigkeit der spektroskopischen Ellipsometrie (SE) ist das iSE in der Lage, die Schichtdicke und die optischen Eigenschaften mit wesentlich höherer Sicherheit zu messen als andere Verfahren. Kompakt Das neue kompakte Design ermöglicht eine einfache Integration in jede Kammer. Vielseitig Bestimmt präzise die Dicke und die optischen Eigenschaften einer Vielzahl von Dünnschichten, einschließlich Metallen, Halbleitern, Oxiden, Nitriden und mehr. Erschwinglich Die Leistung der spektroskopischen Ellipsometrie zu einem vernünftigen Preis. Einfach zu bedienen Benutzerfreundliche Schnittstelle für die Echtzeitanalyse von Dünnschichtwachstum und Ätzung.