Das RC2®-Design baut auf 25 Jahren Erfahrung auf. Es kombiniert die besten Eigenschaften der Vorgängermodelle mit innovativer neuer Technologie: zwei rotierende Kompensatoren, achromatisches Kompensatordesign, fortschrittliche Lichtquelle und Spektrometerdesign der nächsten Generation. Das RC2 ist eine nahezu universelle Lösung für die vielfältigen Anwendungen der spektroskopischen Ellipsometrie.
Fortgeschrittene Messfähigkeiten
Das RC2 ist das erste kommerzielle spektroskopische Ellipsometer, das alle 16 Elemente der Mueller-Matrix erfasst. Die Mueller-Matrix SE ermöglicht die Charakterisierung der fortschrittlichsten Proben und Nanostrukturen.
Beste Messgenauigkeit
Die fortschrittlichen Messfunktionen ermöglichen die beste Genauigkeit der schnellen CCD-basierten Ellipsometrie.
Zwei rotierende Kompensatoren
Die synchrone Rotation von zwei Kompensatoren bietet hohe Genauigkeit, hohe Geschwindigkeit und vollständige Mueller-Matrix-Messungen.
Achromatisches Kompensatordesign*
Neues achromatisches Kompensatordesign mit optimierter Leistung über einen breiten Spektralbereich. *zum Patent angemeldet
Breiter Spektralbereich
Erfassen Sie über 1000 Wellenlängen vom Ultraviolett bis zum nahen Infrarot - alle gleichzeitig.
Schnelle Messgeschwindigkeit
Der synchrone Betrieb beider Kompensatoren ermöglicht hochpräzise Daten, ohne dass ein "Zonenmittel" über optische Elemente abgewartet werden muss. Erfassen Sie das gesamte Spektrum (über 1000 Wellenlängen) gleichzeitig in einem Bruchteil einer Sekunde.
Fortschrittliche "Dual"-Lichtquelle
Duale Lichtquelle für einen erweiterten Spektralbereich mit Computersteuerung der Strahlintensität. Automatische Optimierung des Signals bei jeder Probe (geringe oder hohe Reflexion).
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