Spektroskopischer Ellipsometer M-2000 series

Die spektroskopischen Ellipsometer der Serie M-2000® wurden entwickelt, um die vielfältigen Anforderungen der Dünnschichtcharakterisierung zu erfüllen. Ein fortschrittliches optisches Design, ein breiter Spektralbereich und eine schnelle Datenerfassung ergeben zusammen ein extrem leistungsfähiges und vielseitiges Gerät. Das M-2000 bietet sowohl Geschwindigkeit als auch Genauigkeit. Unsere patentierte RCE-Technologie kombiniert Rotationskompensator-Ellipsometrie mit Hochgeschwindigkeits-CCD-Detektion, um das gesamte Spektrum (Hunderte von Wellenlängen) in einem Bruchteil einer Sekunde mit einer Vielzahl von Konfigurationen zu erfassen. Das M-2000 ist das erste Ellipsometer, das von der In-situ-Überwachung und Prozesskontrolle bis hin zur großflächigen Gleichmäßigkeitskartierung und der allgemeinen Charakterisierung von Dünnschichten wirklich alles abdeckt. Keine andere Ellipsometertechnologie erfasst ein komplettes Spektrum schneller. Fortschrittliche Ellipsometer-Technologie Das M-2000 nutzt unsere patentierte RCE-Technologie (Rotating Compensator Ellipsometer), um eine hohe Genauigkeit und Präzision zu erreichen. Schnelle Spektraldetektion Das RCE-Design ist mit der fortschrittlichen, bewährten CCD-Detektion kompatibel, um ALLE Wellenlängen gleichzeitig zu messen. Breiter Spektralbereich Erfassen Sie über 700 Wellenlängen vom Ultraviolett bis zum nahen Infrarot - alle gleichzeitig. Flexible Systemintegration Mit seinem modularen optischen Design eignet sich das M-2000 für den direkten Anbau an Ihre Prozesskammer oder für die Konfiguration auf einem unserer Tischsockel. Genauigkeit Das fortschrittliche Design gewährleistet genaue ellipsometrische Messungen für jede Probe.