Chemikalienpumpe FLP

DruckluftBalgstationär

Geringe Pulsation Die Position des Balgs wird ständig über die Laser-Wegsensoren und Näherungsschalter überwacht. Die Pumpe selbst reduziert die Pulsation ohne zusätzliche Ausrüstung, da die Steuerung den entsprechenden Betrag der Phasenverschiebung bestimmt, der erforderlich ist, um den Balg über ein elektromagnetisches Ventil nach links und rechts zu bewegen. Reduzierte Sensoren Externe Sensoren sind nicht erforderlich, da die Phasensteuerung des Balgs durch die Pumpe vollständig von den Signalen der Laser- und Näherungssensoren abhängt, die in der Konstruktion enthalten sind. Hoher Druck Die optimale Balgbewegung erhöht die Fähigkeit, den Druck dauerhaft aufrechtzuerhalten und die Entladekapazität und den Druck auch bei häufigen Lastwechseln stabil zu halten, insbesondere bei der Bearbeitung einzelner Wafer. Sicheres Design Eine geschweißte Faltenbalgstruktur verhindert das Austreten von Flüssigkeit. Selbst wenn der Faltenbalg beschädigt ist, erkennen die eingebauten Lecksensoren dies und geben Rückmeldung, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten.