Balgpumpe FS-100HT2
SäureDruckluftstationär

Balgpumpe - FS-100HT2 - IWAKI - Säure / Druckluft / stationär
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Eigenschaften

Technologie
Balg
Fluid
Säure
Betrieb
Druckluft
Installation
stationär
Einsatzbereich
Industrie
Anwendung
Umwälz, Reinigung, Ersatz
Material
PTFE, Metall, PFA
Durchsatz

100 l/min
(26,41721 us gal/min)

Druck

Min: 0,15 MPa

Max: 0,5 MPa

Fluidtemperatur

Min: 10 °C
(50 °F)

Max: 180 °C
(356 °F)

Beschreibung

Verbesserte Reinigungseffizienz Die Reinigungseffizienz, d. h. die Entfernung von Partikeln und Metallverunreinigungen auf den Wafern, wird durch die Erhöhung der Umlaufgeschwindigkeit verbessert. Die Reinigungszeiten, die sich aus der erhöhten Anzahl von Prozesslinien ergeben, werden durch die höhere Zirkulationsrate ebenfalls reduziert. Kontaminationsfrei Neben der Verwendung von Fluorkunststoff-Nasskupplungen (PTFE und PFA) bietet eine Fluorbeschichtung auf den Außenflächen der Pumpe die beste Beständigkeit gegen Dämpfe von Säuren, Laugen und Wasserstoffperoxid, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Geringerer Installationsbereich Neben der Verwendung von Fluorkunststoffen (PTFE und PFA) bietet eine Fluorbeschichtung auf den Außenflächen der Pumpe die beste Beständigkeit gegen Dämpfe von Säuren, Laugen und Wasserstoffperoxid, die bei der Halbleiterherstellung verwendet werden Gewichtseinsparung Die Optimierung des Designs hat zu einer Gewichtsreduzierung von etwa 15 % gegenüber unseren bestehenden 80-100-Liter-Modellen geführt, was die Installation und den Austausch erleichtert.

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.