Motorisierter Spender SB

vertikalhorizontalkompakt

Dispenser mit pneumatischem Antrieb - Bestens geeignet für den Halbleiterherstellungsprozess zur Anwendung von Fotoresist. Merkmale der SB-Serie Hohe Genauigkeit Die Dispenser der SB-Serie dosieren/abgeben präzise chemische Flüssigkeiten wie Fotolack. Das Volumen pro Schuss ist sehr genau, um sicherzustellen, dass die optimale Menge an Fotolack aufgetragen wird. Die Verwendung einer optionalen Rücksaugung verhindert ein Nachtropfen aus der Einspritzdüse, und es gibt fast kein Totvolumen im Balg, so dass die Möglichkeit einer Stagnation der Lösung minimiert wird. Die dichtungslose und ultralangsame Zylinderkonstruktion ermöglicht eine langsame Fotolackdosierung mit geringerer Wahrscheinlichkeit von Lufteinschlüssen. Edelstahl/Fluor-Nassbereich Edelstahl (SUS304) und Fluor (PTFE/PFA) sind für verschiedene Flüssigkeiten erhältlich und gewährleisten eine gute Korrosionsbeständigkeit und kontaminationsfreie Förderung. Besonders geeignet für die Förderung von hochauflösendem/reinem Photoresist. Leichtes und kompaktes Design Die Pumpe kann sowohl in vertikaler als auch in horizontaler Richtung montiert werden (außer SB-4K/-5/-6), was die beste Systemkonfiguration ermöglicht, und ist kompakt genug, um in einem begrenzten Installationsraum untergebracht zu werden. Außerdem sind ein mechanischer Stopper zur Feinabstimmung des Dosiervolumens und ein Positionsdetektor, der die korrekte Kolbenbewegung im Zylinder sicherstellt, optional erhältlich.