Erhöhte Präzision: Vakuumlösungen für High-Tech-Bereiche
Mit der Weiterentwicklung von Hightech-Anwendungen wächst der Bedarf an Vakuumlösungen, um chemische Reaktionen und Verunreinigungen zu vermeiden. Vakuumanwendungen, einschließlich Bewegungssteuerung, Inspektion, Schneiden, Lithografie und mehr, stehen vor der Herausforderung der Bewegung.
Die Bewegungsspulen und Statorschienen der eisenlosen Linearmotoren von ITG sind speziell für den Einsatz in Hochvakuumbereichen bis zu 10-8 mbar ausgelegt.
- Langlebigkeit
- Verlässlichkeit
- Vielseitigkeit
- Ausgasung
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