SCARA-Roboter IWH Series 1

für Wafer-Handling

Roboter der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7“ bis 21“ Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5“ bis 28“ kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 3 KG mit den Wafer-Handler möglich. Merkmale: Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit Höchste Ausfallsicherheit und Präzision Optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA) Kundenspezifische Anpassungen möglich Absolut (digital) oder inkremental Encoder Einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung Optional High-End Controller zum kontrollieren von komplexen Systemen Inklusive Robot Control Center (RCC) ISO 1-reinraumkompatibel Made in Germany