Infrarotlampen, die unter der Werkzeugplatte angebracht sind, erwärmen diese. Die Werkzeugplatte hat eine quadratische Form mit den Maßen 100 x 100 mm und kann aus jedem geeigneten Material hergestellt werden. Sie kann auch mit kundenspezifischen Öffnungen für Vorrichtungen im Inneren vorgefertigt werden. Die Werkzeugplatte kann zusammen mit den darauf befindlichen Teilen ausgetauscht werden. Dies ermöglicht eine Serienproduktion. Ein Stickstoffstrom bläst vom Kammerboden gegen die Werkzeugplatte und kühlt sie so ab. Die Kammer selbst ist luftgekühlt.
Prozessumgebung - Stickstoff, Ameisensäure
Maximale Temperatur - 350°C
Heizfläche - 100 x 100 mm
Heizplatte - abnehmbar: Graphit, Aluminium, etc.
Freiraum über der Heizplatte - 35 mm
Aufheiz-/Abkühlrampe - 120-150°C/min
Regelabweichung - +/- 0,5°C
Heizelemente - 4x Infrarot-Heizlampen
Heizungssteuerung - gemeinsam für alle Heizelemente
Kühlung der Heizplatte - Stickstoffstrom
Temperaturmessung - 1x festes und 2x frei positionierbares Thermoelement K-Typ
Druckmessung - integrierter Drucktransmitter
Maximales Vakuum - 5x10-2 mbar
Ameisensäuresprudler - 40 ml Behälter, in Frontplatte integriert
Kühlung des Kammerkörpers - Luftkühlung
Deckel-Sichtöffnung - 34 mm
Anzeige - 7" LCD mit Touchscreen
PC-Software - Prozessprotokollierung, Rezepturübertragung, etc.
Benutzerschnittstelle - Fernsteuerung über Relais-I/Os
Abmessungen - 330 mm(B) x 300 mm(T) x 443 mm(H) mit geöffnetem Deckel
Gewicht - 12 kg
Stromversorgung - 1 Phase / 190-240V, 50/60 Hz
Erwärmung im Vakuum und unter Schutzgas, Leistungshalbleiter auf Kühlkörpern, Flip-Chip-Reflow, Schmelzen von Bumps, Aufbringen von LEDs mit hoher Intensität, Versiegeln von hermetischen Gehäusen, Montage von Photovoltaikzellen, Aufbringen von Die, Sintern von gedruckten Kupferfolien,
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