Positioniersystem mit großer Öffnung XY-OF-S300x300-A300x300J

XYlinearfür Wafer-Inspektion und Metrologie

XY-Tische mit offenem Rahmen und niedrigem Profil für ein breites Spektrum an automatisierten, präzisen Positionierungen in mikroskopbasierten Anwendungen. Der Antriebsmechanismus befindet sich an der Seite des Geräts und bietet eine klare, ungehinderte Zwei-Achsen-Öffnung, durch die Licht oder Objekte in der Mitte des Verfahrwegs passieren können. OFFENER RAHMEN 300x300 mm Die Apertur bleibt über den gesamten Hub des XY-Tisches unverbaut Modell - Einheit - XY-OF-S300x300-A300x300J Hub XY - mm - 300x300 Spindelsteigung - 4 mm - Apertur - mm - 300x300 ungehindert über den gesamten Verfahrbereich Tischplatte - mm - 400x400 Höhe - mm 140 Umkehrspiel - Mikron - 5 Auflösung (übersetzt) - Mikron - 1 Motor NEMA17 - - schrittmotor, Schrittmotor/Geber, Servo/Geber Wiederholbarkeit - Mikron - 5 Tragfähigkeit - kg - 30 Gewicht des Tisches - kg - 45 Maximale Geschwindigkeit - mm/sec 80 mit Servomotor 40 mit Schrittmotor