- Mechanik - Antriebstechnik
- Aktuator und Positioniersystem
- XY-Positioniertisch
- IntelLiDrives, Inc.
XY-Tisch XYR-65-10X10-AUT-ACR-65AUTdrehbarmit linearem Servomotorfür Wafer-Handling
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- XY, drehbar
- Typ
- mit linearem Servomotor
- Weitere Eigenschaften
- für Wafer-Handling
- Hub
10 mm
(0,394 in)- Geschwindigkeit
200 mm/s
Beschreibung
XY-Rotationstische mit Linearmotoren und Torque-Direktmotoren mit niedrigem Profil für die Wafer-Handhabung und viele andere automatisierte präzise Positionieranwendungen in der Halbleiterfertigung. Der Linearmotorantrieb mit XY-Antrieb bietet XY-Positionierung im Submikrometerbereich und der Drehtisch mit Direktantrieb gewährleistet eine Leistung im Sub-Bogenbereich
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