- Mechanik - Antriebstechnik
- Aktuator und Positioniersystem
- XY-Positioniertisch
- IntelLiDrives, Inc.
XY-Tisch XY-OF-UL-280x280+ACR260UTdrehbar2-Achsopen frame
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- XY, drehbar
- Achszahl
- 2-Achs
- Weitere Eigenschaften
- open frame, für Wafer-Handling
- Hub
280 mm
(11,024 in)- Geschwindigkeit
400 mm/s, 800 mm/s
Beschreibung
Öffnen-Rahmen XY-Drehstadien des niedrigen Profils entwarfen für die Oblatebehandlung und viele andere automatisierte genaue in Position bringenanwendungen in verarbeitendeen Fertigungsindustrien des Halbleiters. Der XY Antriebsmechnismus, der auf der Seite der Maßeinheit gelegen sind und die große Mitte Bohrung-durch Drehtabelle bieten einen freien Raum unobstruced Zugang zur Oblate von beiden Seiten an.
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OPEN FRAME XY-ROTARY SYSTEMS
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