Die Reinraumtauglichkeit wird durch eine versiegelte Struktur und eine hochbeständige Abdeckung aus Edelstahlband erreicht. Das Gehäuse des Stellantriebs ist für Korrosionsbeständigkeit elektrolytlos beschichtet. Der Aktuator verfügt über Vakuumanschlüsse zum Absaugen von Partikeln, die von den beweglichen Teilen erzeugt werden. Diese Linearantriebe entsprechen der Reinraumklassifizierung 209E und der Klasse 10 der VDI-Norm 2083-8.
Hub: mm 100 - 1.000
Spindelsteigung: mm 20
Größe der Motorhalterungen: Nema23, M60
Motortyp : Servo-Schrittmotor/Geber 4000ppr
Reproduzierbarkeit: Mikron ± 5
Genauigkeit: Mikron/mm 20 / 300
Belastung kg : 100
Geschwindigkeit : mm/sec 200 (Schrittmotor) 500 (Servomotor)
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