Die Reinraumtauglichkeit wird durch eine versiegelte Struktur und eine hochbeständige Abdeckung aus Edelstahlband erreicht. Das Gehäuse des Stellantriebs ist für Korrosionsbeständigkeit elektrolytlos beschichtet. Der Aktuator verfügt über Vakuumanschlüsse zum Absaugen von Partikeln, die von den beweglichen Teilen erzeugt werden. Diese Linearantriebe entsprechen der Reinraumklassifizierung 209E und der Klasse 10 der VDI-Norm 2083-8.
Hub mm: 50 - 600
Spindelsteigung mm: 5, 10
Größe der Motorhalterungen: Nema17, Nema23
Motor-Typ: Schrittmotor Servo/Geber 4000ppr
Wiederholbarkeit: Mikron ± 5
Genauigkeit Mikron/mm : 20 / 300
Belastung kg : 50
Geschwindigkeit : mm/sec 100 (Schrittmotor) 200 (Servomotor)
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