Spektrometer Moduli | RF Spectrometer

Module | HF-Spektrometer Nicht-invasive Fehlererkennung und Kammerzustandsüberwachung Das HF-Spektrometer ist ein Hochfrequenzdetektor, der den elektrischen Zustand eines Plasmas direkt von außerhalb der Plasmakammer überwacht. Dies ist für die Fehlererkennung an Produktionswerkzeugen konzipiert, ohne dass ein Inline-Sensor im HF-Pfad erforderlich ist. Es hat sich erwiesen, dass es Luftleckagen, Waferverschiebungen und andere schwerwiegende Plasmafehler erkennt. Das HF-Spektrometer ist ein Hochfrequenzdetektor, der den elektrischen Zustand eines Plasmas direkt von außerhalb der Plasmakammer überwacht. Dies ist für die Fehlererkennung an Produktionswerkzeugen konzipiert, ohne dass ein Inline-Sensor im HF-Pfad erforderlich ist. Es hat sich erwiesen, dass es Luftleckagen, Waferverschiebungen und andere schwerwiegende Plasmafehler erkennt.