Das Sondensystem Octiv VI ist ein in-line HF-Spannungs-, Strom- und Phasenwinkelmesssystem. Es kann eine einzelne Grundfrequenz und deren Oberwellen mit 1% Genauigkeit und 1μs Zeitauflösung messen. Jedes System verfügt über ein Dropdown-Menü mit einer Auswahl von 5 Grundfrequenzen zur Auswahl.
Es misst Spannung, Strom, Phasenwinkel, Impedanz und Oberschwingungen und die Messungen können von einem PC aus oder direkt an der Messeinheit betrachtet werden.
Das Sondensystem Octiv VI ermöglicht es dem Benutzer, eine einzelne Grundfrequenz aus einem Dropdown-Menü von fünf auszuwählen und alle harmonischen Informationen über jeden gemessenen Parameter zu extrahieren.
Die Octiv VI-Sonde ist ein Einfrequenz-Impedanzsensor, der normalerweise nach der Anpasseinheit sitzt. Es wird verwendet, um die Lastimpedanz in Anwendungen wie Plasmaprozessen zu messen. Es überwacht Spannung, Strom und Phase einer einzelnen Grundfrequenz und deren Oberwellen. Die Octiv VI-Sonde ist ideal für die genaue Überwachung einzelner Plasmasysteme.
Das Octiv VI ist auf fünf Grundfrequenzen kalibriert: 2MHz | 13,56MHz | 27,12MHz | 40,68MHz | 60MHz und hat einen Leistungsbereich von 0 bis 12 kW.
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