Langmuir-Sonde Plato Spatial

für Plasmadichte

Plato Spatial Probe ist eine Langmuir-Sonde für Absetzungsplasma. Es scannt über der Masse eines Plasmas, um die Einheitlichkeit von Plasmaparametern an den verschiedenen Standorten zu messen. Es ist entworfen, um in den Absetzungsplasmenn zu arbeiten, selbst wenn eine Isolierschicht auf der Sondenoberfläche niedergelegt wird. Die Plato Probe-Maßplasmaparameter wie Plasmadichte, Ionenspezifische Stromdichte und Elektrontemperatur an den verschiedenen Standorten über dem Plasma, selbst wenn das Plasma eine hohe Absetzungsrate hat. Es ist jetzt möglich, die Einheitlichkeit von Plasmaparametern in einem Plasma zu messen, das eine Isolierschicht niederlegt. Plato Spatial Probe kommt komplett mit einem automatisierten linearen Ansteuersystem, das die Hauptparameter des Plasmas an den verschiedenen Standorten innerhalb eines Plasmareaktors misst. Plato Spatial Probe ist die erste Langmuir-Sonde auf dem Markt, der in einem Plasma mit hoher Absetzungsrate funktionieren kann und zu seinem Erfolg seine Fähigkeit, die Schlüsselplasmaparameter durch eine Isolierschicht genau zu messen einige Mikrometer dick Schlüssel ist. Die Absetzung von Isolierschichten beeinflußt nicht die Genauigkeit der Plasmakennzeichnung der Sonde.