Langmuir-Sonde Plato

für Plasmadichte

Die Platosonde ist eine planare Langmuir-Sonde, die entwickelt wurde, um in Depositionsplasmen zu arbeiten, wenn ein isolierender Film auf der Sondenoberfläche abgeschieden wird. Diese depositionstolerante Langmuir-Sonde kann in einem Plasmareaktor verbleiben, während aggressive Isoliergase verwendet werden. Die Platosonde misst Plasmaparameter wie Plasmadichte, Ionenstromdichte und Elektronentemperatur in Plasmen mit hohen Abscheideraten, wie z.B. die plasmaunterstützte chemische Dampfabscheidung (PEVCD). Seit vielen Jahren ist es schwierig, die Parameter von Plasma in Umgebungen mit hoher Deposition zu messen. Impedans hat eine bahnbrechende Technologie entwickelt, die die Parameter des Plasmas misst, auch wenn eine dicke Isolierschicht auf der Sondenoberfläche aufgebracht wird. Die Platosonde ist eine planare Langmuir-Sonde zur Abscheidung von Plasma, wenn ein Isolierfilm auf der Sondenoberfläche abgeschieden wird. Die Platosonde ist die erste Langmuir-Sonde auf dem Markt, die in Plasmen mit hohen Depositionsraten arbeiten kann. Ein einzigartiges Merkmal der Platosonde ist ihre Fähigkeit, wichtige Plasmaparameter durch eine mehrere Mikrometer dicke Schicht genau zu messen. Die Abscheidung von Isolationsschichten hat keinen Einfluss auf die Genauigkeit der Sondenmessung. Die Platosonde ist ein einzigartiges Instrument, mit dem Wissenschaftler die Plasmadichte und Elektronentemperatur von Plasma einschließlich Depositionsplasma messen können. Die Platosonde ermöglicht die Messung von Plasmaparametern in DC, RF, Mikrowelle, kontinuierlichem und gepulstem Plasma.