Ratio-Messsystem Quantum

Ionen / neutralfür Plasmareaktor

Die entschlossene gridded Schwingquarzmikrowaage Quantum Energie ist ein einzigartiges Instrument, zum des Verhältnisses der Ionen zu den neutralen Personen zu messen, die eine Oberfläche innerhalb eines Plasmareaktors schlagen, nannte manchmal das Ion neutralen Bruch. Dieses innovative Instrument misst auch die Absetzungsrate, die Ionenenergie, den Ionenfluß und die Vorspannung. Das Verhältnis zwischen den neutralen Personen und Ionen, die zu einer Oberfläche, sei es voreingenommenes oder geerdet kommen, ist jetzt durch dieses bahnbrechende System messbar. Der einzelne Sensor Quantum misst den Ionenneutralen Bruch oder den Flussionisierungsbruch, die zu einer Oberfläche innerhalb eines Plasmareaktors kommen. Er misst auch die Absetzungsrate, die Ionenenergie, den Ionenfluß und die Vorspannung an jedem möglichem Standort innerhalb eines Plasmareaktors. Der einzelne Sensor Quantum oder gridded die Schwingquarzmikrowaage ist in vielen Sektoren über Industrie und Forschung, wie Plasmaabsetzung, Beschichtungen, Plasmaspritzen, PECVD-, Radierungs- und Ionenstrahl weitverbreitet. Der einzelne Sensor Quantum liefert den Flussionisierungsbruch, ein Maß, das in den meisten Plasmaanwendungen wesentlich ist, aber bis jetzt ist sehr hart zu erzielen gewesen. Ionisierungsverhältnisse finden Anwendungen, wenn sie Rezepte der neuen Prozesse, der Bestätigung neue und Modelle Forschung und können in der Entwicklung von neuen Werkzeugen und von Plasmaverfahren verwendet werden.