Multisensor-Analysator Semion

für PlasmareaktorBremsfeldEchtzeit

Der Semion Multi Sensor Retarding Field Energy Analyzer (RFEA) misst die Gleichmäßigkeit von Ionenenergien, die auf eine Oberfläche treffen, mit einer Reihe von Plasma-Messsensoren. Dieser hochmoderne, verzögernde Feldenergieanalysator (RFEA) misst auch die Gleichmäßigkeit von Ionenfluss, negativen Ionen und Vorspannung an jeder beliebigen Stelle innerhalb einer Plasmakammer. Der Semion Multi Sensor Retarding Field Energy Analyzer (RFEA) ermöglicht es dem Anwender, seine Plasma-Eingangsparameter wie Leistung, Druck, Frequenzen und Chemikalien in Echtzeit zu ändern, um ihre optimale Ionenenergieverteilung und Ionenflussgleichmäßigkeit für seine Anwendung zu finden. Der Semion Multi Sensor Retarding Field Energy Analyser (RFEA) misst die Ionenenergiegleichförmigkeit, Ionenflussgleichförmigkeit, negative Ionengleichförmigkeit und Vdc an der Substratposition innerhalb einer Plasmakammer. Der Semion Multi Sensor wird hauptsächlich zur Erforschung der Wafergleichförmigkeit in industriellen Plasmaanwendungen eingesetzt, findet aber auch Anwendung in der Forschung. Anwender in der Halbleiterbranche befassen sich mit der Gleichmäßigkeit der Ioneninteraktionen mit dem Substrat, und das gilt für Beschichtungen, Ätzen, Plasmasputtern, PECVD- und Ionenstrahlanwendungen. Mit zunehmender Substratgröße wird die Plasmagleichmäßigkeit immer wichtiger. Der Semion Multi Sensor Retarding Field Energy Analyzer (RFEA) hilft Zeit zu sparen, um Plasmagleichförmigkeitsmodelle zu bestätigen, neue einheitliche Plasmaprozesse und Experimente mit Plasma zu entwickeln, größere Plasmaprozesse zu entwerfen und die Plasmaforschung zu unterstützen.